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回收提拉式单晶炉+扬州真空流量计回收物流/提货派送

发布时间 : 2024/5/4 8:39:21  来源:shxj365


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存在问题该单晶炉二次增料装置存在主要问题如下: (1)、卡料:由于硅料之间、硅料与装置内部的部件之间存在摩擦力,落料时,硅料容易卡壳,甚硅料卡住拉杆1,致使其底部锥面与外筒5之间不能形成间隙,块状硅料不能实现下落;(2)、污染:硅料在实现落料的过程中,拉杆1底部锥面会被下面熔融硅料(单晶炉内)的高温所氧化而污染硅料,从而影响拉晶工艺或硅棒质量等缺点。

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整个炉内不存在排气 不畅的地方,即不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀,还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上,另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用,使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶 的内在质量。据统计,上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动,而且当提拉负载增大引起线速度为零时,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中,对提拉控制系统提出的主要技术指标是,提拉速度在0.2~10.0mm/h范围之内实现无级可调。99%以上的集成电路是硅集成电路,生产集成电路所需要的单晶硅,是在硅结晶生长始时,用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中,对晶体的提拉速度有十分严格的要求,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。

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