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回收旧单晶硅炉+扬州宝应plc编程回收维修/保养

发布:2024/4/25 21:27:33 来源:shxj365


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电气原理图是把一个电气元件的各部件以分的形式进行绘制,现场也有将同一电器上各个零部件均集中在一起,按照其实际位置画出的电路结构图。结构图的画法比较容易识别电器,便于和检修。但是,当线路比较复杂和使用的电器比较多时,线路便不容易看清楚。因为同一电器的各个部件在机械上虽然联在一起,但是电路上并不一定相互关联。

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使含有一氧化硅的氩气气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管,底 座,密封环,排气口所组成,在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置文献CN1205362C公了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置且其向炉内充入氩气时的充气气压在1. 3xi03Pa 以上,导致其氩气流量较大,故而氩气消耗量大,生产成本较高。也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动,而且当提拉负载增大引起线速度为零时,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。对晶体的提拉速度有十分严格的要求,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。对提拉控制系统提出的主要技术指标是,提拉速度在0.2~10.0mm/h范围之内实现无级可调,线性精度大于±2%。生产集成电路所需要的单晶硅,是在硅结晶生长始时。

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