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二手蓝宝石长晶炉回收+淮安洪泽滤波柜回收维修/保养

文章来源:shxj365 发布时间:2024-04-19 09:03:41


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根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4, 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5, 根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉。

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进一步地,所述坩埚3、坩埚盖2、上反射屏5和加热器4设有耐高温的温度传感器。蓝宝石在引晶的过程中,对温度的控制极为重要,耐高温温度传感器的设置能帮助操作人员及时了解坩埚3、坩埚盖2、上反射屏5和加热器4的温场,同时坩埚盖2、上反射屏5的中部和加热器4的上部是容易沉积挥发物的位置,有了温度传感器的帮助,操作人员可以在不影响引晶进度的前提下,及时对上述部位的温度进行干预,进而减少挥发物的沉积。单晶硅片由此进入生产流程:1、酸洗:使用稀HNO3,进行清洗,去除表面杂质及时产生的四硅。2、清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。3、单晶硅料烘干:去除水分。4、挑料:区分P型,N型硅料。5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。6、单晶炉拉晶:7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。8、断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9、包装:将断后的单晶硅棒进行包装,送下一道工序10、磨圆:将单晶硅棒四个直角进行 的PV800,MDM442DM设备进行切割0.33mm。12、清洗:13、单晶硅片检测:单晶炉的结构单晶炉炉体(包括板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢。